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樓主  發表于: 2023-10-11 14:05
冷等離子體是等離子體的一種近似模型。是指它假定等離子體的溫度為零,用來討論熱效應可以忽略的物理過程。冷等離子體,有時被稱為非熱等離子體或非平衡等離子體,是一種特殊類型的等離子體。因為離子和電子的離子化和復合是連續發生的,等離子體發出美麗的光。因此,等離子體也被稱為物質的第四狀態,構成了宇宙中99%的質量,包括恒星和閃電。下面工采網小編和大家一起看看在等離子體的流量控制應用方案。


等離子體工藝中會使用等離子體反應器。氣體流量、蒸汽流量和壓力在等離子體反應器中起著重要作用。進入反應器的氣體流量和壓力控制由流量控制器和壓力控制器調節。流量控制器控制進入反應室的氣體流量,在反應室氣體被激發成等離子體,壓力控制器將過量氣體從反應室中排出,同時保持壓力。流量控制方法是等離子體刻蝕實驗中至關重要的一環。流量控制方法的選用取決于刻蝕過程中氣體的要求、設備的性能和實驗的目標。常用的流量控制方法有幾種。






一種常見的流量控制方法是使用質量流量控制器(MFC)。MFC使用傳感器來測量氣體流量,并通過控制閥門調整氣體的流量。MFC能夠精確地控制氣體的流量,并具有較高的穩定性和可重復性。因此,在等離子體刻蝕實驗中,使用MFC可以確保所需的刻蝕氣體流量的精確控制。


另一種常用的流量控制方法是使用流量調節閥。流量調節閥通過調整閥門開度來控制氣體的流量。與MFC相比,流量調節閥的控制精度較低,但它具有簡單、易操作的特點,適用于一些對流量控制要求不太嚴格的實驗。


此外,還有一種流量控制方法是采用流量計和手動調節閥結合的方式。此方法通過讀取流量計的顯示值,然后手動調整閥門的開度,從而實現對流量的控制。


氣體流量傳感器對流過傳感器的空氣、氧氣或其他的氣體有靈敏和快速的反應,并且在在很小的流量下有較高的準確性,同時具有在大的流量下很好的重復性和很低的滯后性。隨著等離子行業的快速發展,熱式氣體質量流量控制器在各種等離子設備中廣泛使用,主要作用是準確的控制和調節氣體的進氣流量,等離子設備中需要注入和填充的混合氣體,以保證更好的產品性能,就需要更高精度和穩定性好的流量控制器。





采用IST流量傳感器可以為MFC產品帶來足夠寬的測量范圍使得在許多場景中不必使用旁路,而進行直接測量,提高測量的準確性。其次薄膜技術帶來極高的響應靈敏度,在一般測量狀態就可以瞬間響應壓力浪涌。小巧的體積與簡單的安裝方式,給氣路結構優化創造更大的空間。易于校準,簡化生產過程。工采網提供的瑞士IST熱質量流量傳感器–FS7是FS5流量傳感器的后續產品,采用對稱的加熱器設計,具有增強的靈敏度。FS7流量傳感器適合用于氣體應用,具有出色的長期穩定性。FS7傳感器的熱質量小因此響應時間短。此外,標準FS7傳感器還配備罩殼,從而方便用于各種不同應用。

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